MIRell Photonics GmbH

Die MIRell Photonics GmbH hat es sich zum Ziel gesetzt ein neuartiges Einzelwellenlängen-Ellipsometer für den nahen und mittleren Infrarotbereich zu entwickeln. Ellipsometrie ist ein in der Halbleitertechnologie und Materialforschung etabliertes Verfahren um Materialeigenschaften, wie den Brechungsindex, sowie die Schichtdicke dünner Schichtsysteme zu bestimmen. Die Ausweitung ins Infrarot ist derzeit ein allgemeiner Trend in der Photonik. In diesem Wellenlängenbereich existieren derzeit lediglich technologisch unterlegene Weißlicht -Ellipsometer, da taugliche Infrarotlaser erst seit Kurzem erhältlich sind. Weißlicht-Ellipsometer verursachen jedoch höhere Kosten und längere Messzeiten. Angeboten werden auch Erweiterungsmodule sowie individuelle Soft-und Hardwarelösungen.